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万级净化厂房的构成

2024-08-30 12:19:00
隔间:万级无尘室隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区, 千级区和百级区均设风淋室(airshower), 无尘室与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入无尘室时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入无尘室的灰尘. 传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果.
 
风系统:系统采用的是全新风空调箱+FFU系统.
 
1、全新风空调箱结构
 
2、FFU:(FAN FILTER UNIT) 即风机和过滤器
 
千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%
 
水系统:冰水系统分为一次侧和二次侧.
 
一次侧冰水水温7-12度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.
 
一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.
 
板式换热器原理
 
干盘管:不结露的盘管,因无尘室温度在22度,其露点温度12度左右,故7度冰水不能直接进入无尘室,所以进干盘管的冰水温度在12-14度.
 
控制系统(DDC)
 
温度:干盘管系统控制
 
湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量
 
正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量.
 
其他系统:不只是空调系统, 无尘室系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统。
 
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